半導體 T-Tray 平面度自動量測機台
本設備為專為半導體產業設計之 T-Tray 平面度自動量測機台，適用於半導體載具（T-Tray）之平面度、翹曲度與高度差檢測。
系統採用高剛性精密平台結構，搭配多點自動量測機構與高解析感測元件，可快速完成 T-Tray 全平面量測，大幅提升量測效率與一致性。
透過自動化量測流程，可有效取代人工量測誤差，適用於半導體封裝製程、載具來料檢驗（IQC）、製程中檢測（IPQC）及最終品管（FQC），協助客戶提升製程良率與品質穩定度。
※ 實際規格可依需求客製
| 項目 | 規格說明 |
|---|---|
| 量測對象 | 半導體 T-Tray / 載具 |
| 量測項目 | 平面度、翹曲度、高度差 |
| 量測方式 | 多點自動量測 |
| 平台結構 | 高剛性精密平台 |
| 運動軸向 | XYZ 三軸 |
| 驅動方式 | 精密線性滑軌＋伺服 / 步進馬達 |
| 量測精度 | μm 等級（依感測器配置） |
| 重複精度 | 高重複性量測設計 |
| 操作模式 | 全自動 / 半自動 |
| 治具 | 可依 T-Tray 尺寸客製 |
| 系統擴充 | 支援感測器、治具與通訊模組擴充 |
| 適用環境 | 半導體產線 / 無塵室（依配置） |
專為半導體 T-Tray 設計
針對半導體載具特性開發，量測結果穩定、可靠，符合產線實際需求。
高精度平面度量測
採用多點量測架構，可完整分析平面度與翹曲分佈，避免單點誤判。
自動化量測流程
一鍵啟動量測，降低人工操作依賴，提升產線效率與一致性。
模組化與高度客製
量測範圍、治具尺寸、感測器配置皆可依客戶需求調整。
適合量產與品管應用
穩定結構設計，適合長時間連續運轉，滿足量產環境需求。
半導體 T-Tray 平面度檢測
半導體載具翹曲度量測
半導體封裝製程平面度品管
IQC / IPQC / FQC 載具檢驗
半導體產線自動量測站
高精度平面度量測應用場域
半導體載具翹曲度量測
半導體封裝製程平面度品管
IQC / IPQC / FQC 載具檢驗
半導體產線自動量測站
高精度平面度量測應用場域